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        無塵車間等級劃分及等級標準

        摘要:

        無塵車間的發展與現代工業、尖端技術緊密的聯系在一起。目前在生物制藥、醫療衛生、食品日化、電子光學、能源、精密器械等行業運用已經相當的普遍且成熟。

        空氣潔凈度等級(air cleanliness class):潔凈空間單位體積空氣中,以大于或等于被考慮粒徑的粒子最大濃度限值進行劃分的等級標準。國內按空態、靜態、動態對無塵車間進行測試、驗收,符合《GB50073-2013 潔凈廠房設計規范》、《GB50591-2010 潔凈室施工及驗收規范》。

        潔凈度和控制污染的持續穩定性,是檢驗無塵車間質量的核心標準,該標準根據區域環境、潔凈程度等因素,分為若干等級,常用的有國際標準和國內區域行業標準。

        ISO14644-1國際標準—空氣潔凈度等級劃分

        GB50073-2013 國家標準—空氣潔凈度等級

        中國GMP(2010年修訂)新版GMP附錄1 無菌藥品.第三章.第九條……潔凈區各級別空氣懸浮粒子的標準規定如下

        各國潔凈度等級近似對照表

        無塵車間(潔凈室)等級說明

        1.首先是等級定義的模式如下:

        Class X (at Y μm )

        其中X是無塵室的等級,例如100或10000等等,Y是粒徑如0.2μm , 0.5μm等,可復選。意思就是使用者規定,該無塵室微粒含量,在這些粒徑必須滿足該等級的限度。這樣可以減少紛爭,以下是幾個例子:

        Class1 (0.1μm, 0.2μm , 0.5μm)

        Class 100(0.2μm , 0.5μm )

        Class 100(0.1μm, 0.2μm , 0.5μm )

        在Classes 100 (M3.5) and Greater (Class 100,1000,10000....),一般看一個粒徑即可。在Classes Less than 100 (M3.5) (Class 10,1.... ),一般要看多幾個粒徑。

        2.其次技巧是規定無塵室的狀態,例如:

        Class X (at Y μm ),At-rest

        供貨商就很清楚知道無塵室要在At-rest狀態下驗收。

        第三個技巧是自訂微粒濃度上限,一般在As-built時無塵室都很干凈,微粒控制能力測試不易,這時可以干脆把驗收上限壓低,例如:

        Class 10000 (0.3 μm <= 10000),As-built

        Class 10000 (0.5 μm <= 1000),As-built

        這樣做的目的是確保無塵室在Operational狀態時,依然有足夠的微粒控制能力。

        半導體行業無塵車間(潔凈室)案例圖集

        1.黃光車間多建在百級潔凈區,千級潔凈區也有涉及

        2.半導體潔凈室(高架地板)常應用于百級和千級區域

        3.常規半導體潔凈室(潔凈區:萬級至十萬級)






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